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氣浮隔振光學(xué)平臺
氣浮隔振光學(xué)平臺,主要應(yīng)用于高分辨成像、激光掃描、激光干涉、2D/3D Mapping、生物醫(yī)療等對振動有非常高要求的儀器設(shè)備等。
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